في آلات الطباعة الحجرية ، النظام البصري مسؤول عن تركيز وإسقاط شعاع الضوء المنبعث من مصدر الضوء على رقاقة السيليكون لتحقيق تعرض أنماط الدوائر. ولذلك ، فإن تصميم وتحسين المكونات البصرية في أنظمة الطباعة الحجرية أمر بالغ الأهمية لتحسين أداء آلات الطباعة الحجرية.
تتكون عدسة الإسقاط في آلة الطباعة الحجرية عادة من سلسلة من العدسات ، بما في ذلك العدسات المحدبة ، والعدسات المقعرة ، والموشير. وتتمثل وظيفتها في التركيز وعرض شعاع الضوء المنبعث من مصدر الضوء. في آلة الطباعة الحجرية ، تقلل عدسة الإسقاط من نمط الدائرة على القناع إلى مقياس معين ثم تركزه على الرقاقة المغلفة بالمقاومة للضوء.
نظام المحاذاة البصرية مثلمكعب محاذاة بصريفي آلة الطباعة الحجرية تستخدم في المقام الأول لضمان دقة المحاذاة بين القارورة الضوئية ورقاقة السيليكون. أثناء عملية الطباعة الحجرية ، يمكن أن تسبب الأخطاء في المعدات والمواد انحرافات موضعية بين القارورة الضوئية ورقاقة السيليكون ، مما يؤدي إلى تشويه أو عدم دقة أشكال الأنماط. لذلك ، يستخدم نظام المحاذاة مكونات بصرية دقيقة مثل المرايا المرجعية والعدسات القياسية وأجهزة تشفير بصرية لقياسها وضبطها ، مما يضمن محاذاة وتصوير عالي الدقة أثناء عملية الطباعة الحجرية.
المرايا البصرية: تستخدم المرايا في آلات الطباعة الحجرية لتغيير اتجاه مسار الضوء ، وتوجيه الضوء إلى الموضع الصحيح. دقة السطح والاستقرارالمرايا البصريةيؤثر بشكل كبير على أداء آلة الطباعة الحجرية.
شق شعاع: شق شعاع من الرائدةمصنع الخائن شعاعهي مكونات بصرية تقسم شعاع ضوء واحد إلى حزم متعددة. يتم استخدامها في آلات الطباعة الحجرية لتوليد حزم متوازية متعددة ، مما يسمح بالتعرض المتزامن لرقائق متعددة.
حواجز شبكية: حواجز شبكية هي مكونات بصرية تقسم الضوء إلى حزم فرعية متعددة وتتحكم في الطور والسعة. يتم استخدامها في آلات الطباعة الحجرية لإنشاء أنماط وهياكل معقدة.
الفلاتر: الفلاتر التي تصنعهاشركة المرشحات البصريةتستخدم لتصفية الأطوال الموجية غير المرغوب فيها للضوء ، وتحسين دقة وجودة الطباعة الحجرية.