إجراءات التشغيل مقياس تداخل الليزر ZYGO

مقياس التداخل الكهربائي وإيقاف التشغيل وخطوات القياس الأساسية

السلطة على تسلسل

1. قم بتشغيل الكمبيوتر والشاشة

المدخلات: اسم المستخدم: زيجو

كلمة المرور: لا شيء

تسجيل الدخول إلى نظام التشغيل

2. قم بتشغيل قوة مضيف مقياس التداخل ، ثم قم بتسخين مقياس التداخل لمدة 15 إلى 20 دقيقة لجعله يعمل بشكل ثابت.

3. انقر نقرًا مزدوجًا على أيقونة الميتروبرو على سطح مكتب الكمبيوتر لإدخال برنامج قياس الميتروبرو.

قم بتشغيل مفتاح الطاقة وسيتم تشغيل مصباح المؤشر.

خطوات القياس الأساسية

1. انقر زر الماوس الأيسر على أيقونة تطبيق القياس المقابلة لفتح تطبيق الاختبار.

على سبيل المثال: فتح GPI.app

2. بناء المسار البصري للاختبار (بما في ذلك المرآة والعينة القياسية) ، وضبط هامش التداخل ، والرجوع إلى طريقة القياس المحددة في الخلف.

قم بإعداد المسار البصري للاختبار (بما في ذلك المرآة والعينة القياسية) وضبط هامش التداخل. إعداد معلمات القياس اللازمة في برنامج الميتروبرو ، الرجوع إلى دليل برنامج الميتروبرو.

3. انقر فوق زر القياس في البرنامج أو اضغط على مفتاح F1 على لوحة المفاتيح لإكمال القياس وعرض النتائج.

4. حفظ تقرير الاختبار. انقر فوق رمز zygo مع زر الماوس الأيسر لطباعة صورة النافذة أو حفظها.

5. انقر فوق زر حفظ البيانات في البرنامج لحفظ بيانات الاختبار.

إجراء الإغلاق

1. أغلق برنامج الميتروبرو

انقر فوق الزر X في الزاوية اليمنى العليا من MetroPro ، وسيظهر مربع حوار ، انقر فوق نعم لإغلاق برنامج MetroPro.

2. أغلق الوحدة الرئيسية لمقياس التداخل

قم بإيقاف تشغيل مفتاح الطاقة الخاص بالوحدة الرئيسية ، وسيخرج مصباح المؤشر.

3. قم بإيقاف تشغيل الكمبيوتر والشاشة.

تثبيت عنصر الإرسال

تحذير!

لا تلمس العنصر الناقل بيديك أثناء الخطوات التالية. بصمات الأصابع يمكن أن تتلف بشكل دائم البصرية

طلاء وسطح البصريات.

1. قم بإزالة العنصر الناقل من حالته الواقية عن طريق الإمساك بالحافة المعدنية للعنصر.

2. قم بمحاذاة علامتي التبويب المعدنية على حافة العنصر الناقل مع الفتحتين المقابلتين على قوس ضبط الوحدة الرئيسية.

تحذير!

عندما يتم تثبيت النظام في تكوين عمودي ، لا تترك العنصر transmissive حتى يتم قفله في مكانه باتباع الخطوات أدناه.

3. قم بضبط العنصر transmissive برفق في قوس ضبط الإطار الرئيسي ، مع تثبيت الحواف المعدنية لعنصر المجموعة في مكانها بيدك. بدوره مقبض قفل أسود

أدر مقبض القفل الأسود في اتجاه عقارب الساعة ، مما سيضمن الوحدة إلى قوس التعديل.

ملاحظة: عندما يحين الوقت لإزالة الوحدة من قوس الضبط ، أمسك الوحدة يدويًا من الحافة المعدنية للوحدة أثناء تدوير مقبض القفل في اتجاه عكس اتجاه عقارب الساعة.

عندما يحين الوقت لإزالة الوحدة من قوس التعديل ، أمسك الوحدة يدويًا من الإطار المعدني للوحدة وفك مسامير التثبيت في اتجاه عقارب الساعة.

معايرة العنصر transmissive

قبل أن تتمكن من إجراء قياسات باستخدام مقياس التداخل ، يجب عليك محاذاة العنصر الناقل مع مقياس التداخل ثم محاذاة عينة القياس مع العنصر الناقل.

ثم قم بمحاذاة عينة القياس مع العنصر الناقل. كيفية محاذاة العنصر transmissive موضحة أدناه. يتم وصف معايرة عينة القياس بالتفصيل في ، وقياس جودة السطح.

قياس جودة السطح ، وقياس جودة الموجة الأمامية المرسلة.

1. تأكد من أن مفتاح شريط الإضاءة في الموضع. (تأكد من أن مفتاح شريط الإضاءة في وضع التشغيل.)

2. اضغط على زر المحاذاة/العرض على جهاز التحكم عن بعد. سيتم عرض التقاطع المستهدف المحسوب والنقاط الساطعة أو أكثر على الشاشة.

على الشاشة. تمثل النقطة الأكثر سطوعًا انعكاس الضوء من السطح الخارجي للعنصر الناقل.

قياس جودة السطح

يتم معايرة العينة التي سيتم قياسها مع العنصر الناقل. بعد معايرة العينة ، يكون القياس ببساطة مسألة الضغط على مفتاح قياس في برنامج الميتروبرو. سواء تم وضع مقياس التداخل عموديًا أو أفقيًا ، فمن المقبول عمومًا أن يكون تجويف القياس (أو مسافة المرآة من العينة إلى المعيار) كبيرًا قدر الإمكان.

المسافة من العينة إلى المرآة القياسية) قصيرة قدر الإمكان. سيؤدي ذلك إلى تقليل تشويه واجهة الموجة المقاسة بتدفق الهواء.

تركيب المرآة المرجعية المسطحة (TF): ضع الدبابيس المعدنية على العدسة في الشرائح على إطار ضبط مقياس التداخل.

1. حرك المعدن pالإضافية على العدسة في الفتحات على قوس الضبط لمقياس التداخل ، أمسك الإطار المعدني للعدسة وقم بتدوير العدسة في اتجاه عقارب الساعة ، ثم شد مقبض القفل على الجانب.

ثم شد مقبض القفل على الجانب.

2. قم بمحاذاة العدسة القياسية: اضغط على زر محاذاة/عرض جهاز التحكم عن بعد لتبديل شاشة العرض لمحاذاة الحالة ، وتظهر صورة خيوط الشعر المتقاطع في الطائرة. اضبط المقابض على قوس الضبط للوحدة الرئيسية لمقياس التداخل حتى تكون ألمع نقطة إضاءة على الشاشة في وسط الفتيل المتقاطع. 3.

3. ضع العينة المراد قياسها على إطار ضبط القياس: اضبط مقبض إمالة إطار الضبط حتى تكون النقطة المضيئة للجزء المقاس على الشاشة أيضًا في مركز خط الشعر المتقاطع ، يتزامن مع نقطة الضوء المنعكس للعدسة.

4. اضغط على زر المحاذاة/العرض الخاص بجهاز التحكم عن بعد مرة أخرى لتبديل شاشة العرض إلى العرض ، ويجب أن تظهر هامش التداخل على الشاشة. اضغط على زر التكبير للتكبير والتصغير بحيث تملأ صورة السطح الذي تريد قياسه الشاشة قدر الإمكان. 5.

5. ضع قطعة من الورق أو علامة أخرى قريبة قدر الإمكان من الجزء المراد قياسه ، وهذا سيوفر حافة مميزة للتركيز. اضغط على زر التركيز على جهاز التحكم عن بعد للتركيز ، مما يجعل حافة الصورة إلى الحافة ، والتركيز لجعلها من الحافة إلى الحافة.

6. قم بضبط مقبض تعديل الإمالة لرف تعديل العينة إلى الصفر خارج الهوامش (بحيث يتم تقليل هامش التدخل).

7. اضغط على مفتاح القياس على ميتروبرو أو مفتاح F1 على لوحة المفاتيح لإجراء القياس.

صيانة الوحدة الرئيسية لمقياس التداخل

احتياطات السلامة لاستخدام الأدوات

1. لا تلمس الوحدة الرئيسية أو المنصة المضادة للاهتزاز أثناء القياس.

2. من أجل تقليل خطر الصدمات الكهربائية ، يجب أن تكون الأداة مستندة كهربائيًا جيدًا من خلال إخراج مصدر الطاقة.

3 ، في دليل مقياس التداخل لقراءة تعليمات السلامة بالليزر.

4. لا تحرك الوحدة الرئيسية. إذا كان من الضروري التحرك ، يرجى استخدام المقابض الخاصة المصممة في الجزء العلوي من الجهاز من أجل

إذا كان من الضروري التحرك ، يرجى استخدام المقابض الخاصة المصممة على الجزء العلوي من الجهاز لتحريرها بعناية ، ولا تلمس السيراميك الكهروضغطي مباشرة بيديك لتحريره بالقوة.

السيراميك كهرضغطية هو هيكل عالي الدقة ، من السهل أن تتلف بالقوة ، لذلك تجنب القوة الخارجية عليه في أي وقت. كما هو موضح في الشكل:

صيانة المضيف.

الوحدة الرئيسية هي صيانة مجانية عمليًا ، ومع ذلك ، من المهم جدًا تشغيل الأداة في بيئة نظيفة نسبيًا.

ومع ذلك ، من المهم للغاية تشغيل الأداة في بيئة نظيفة نسبيًا. إذا كنت بحاجة إلى تنظيف وحدة السكن الرئيسية ، اتبع الخطوات أدناه.

1. باستخدام منظف أثاث معتدل ، امسح بصمات الأصابع والغبار من الجانبين واللوحة الأمامية للوحدة الرئيسية بقطعة قماش ناعمة مبللة بكمية صغيرة من المنظف.

لوحة ، مثل بصمات الأصابع والغبار.

2. استخدم قطعة قماش جافة لتنظيف الغبار من المكونات. لا تستخدم المنظفات أو المرش بالقرب من البصريات.

العدسة هي بصرية مطلية ، وقد تؤدي بشاشات التنظيف إلى تلف السطح. للاطلاع على القسم الخاص بتنظيف نظام العدسات ، انظر

تنظيف قسم البصريات في الفصل التالي.

صيانة مكونات الكمبيوتر

راجع وثائق الشركة المصنعة لصيانة المكونات بما في ذلك الكمبيوتر وشاشة الألوان والماوس ولوحة المفاتيح والطابعة (إذا كانت مثبتة).

تشمل المكونات المراد خدمتها الكمبيوتر وشاشة الألوان والماوس ولوحة المفاتيح والطابعة (إذا كانت مثبتة).

إذا كنت تواجه مشكلات ولم تتمكن من تحديد موقع المشكلة ، فاتصل بـ Zygo.

صيانة وتنظيف البصريات

صيانة البصريات

عندما لا يتم استخدام مقياس التداخل لفترة طويلة من الوقت بعد الانتهاء من القياس ، قم بإزالة العدسات والبصريات الأخرى بعناية وتخزينها في علبة عدسة خاصة.

تخزينها في حالة العدسة الخاصة.

بصريات تنظيف

تنظيف أي بصريات دقيقة قد يتلف السطح. جميع أسطح العدسات القابلة للتنظيف مغطاة.

جميع أسطح العدسات القابلة للتنظيف مغطاة. التنظيف غير الضروري وغير الصحيح يمكن أن يتلف الطلاء بسهولة. يجب أن نحافظ على بصرياتنا بشكل صحيح ونبقيها بعيدة عن الطريق عندما لا تكون قيد الاستخدام.

المكونات بشكل صحيح ، وإعادتها إلى حوالها البلاستيكية عندما لا تكون قيد الاستخدام ، والحفاظ على بيئة نظيفة لتقليل عدد دورات التنظيف.

يجب تقليل عدد عمليات التنظيف.

لا تحاول تنظيف البصريات داخل الرئيسيالوحدة لأن هذا سيؤثر على أداء النظام. اتصل بزيجو إذا لزم الأمر.

اتصل بزيجو إذا لزم الأمر.

مواد تنظيف موصى بها

قفازات مختبر من البولي ايثيلين

ارتداء قفازات لمنع تلوث أسطح الجهاز وحماية بشرتك من ملامسة المواد الكيميائية الضارة والمهيجة.

مواد.

غاز مضغوط مع فوهة

يستخدم الغاز المضغوط بفوهة لنفخ الغبار والأوساخ من سطح البصريات.

ورق مرآة

تستخدم لتنظيف سطح البصريات عند الضرورة. يجب أن يكون ورق المرآة متخصصًا في مسح البصريات الدقيقة.

مسحات قطنية

تستخدم لتنظيف الأسطح التي يصعب الوصول إليها ، يجب أن تكون مسحات القطن مصنوعة من الخشب والورق والقطن وغيرها من المواد. قضبان بلاستيكية تذوب في الأسيتون

قضبان بلاستيكية سوف تذوب في الأسيتون.

المذيبات

استخدم كحول الأيزوبروبيل والميثانول من الدرجة الطيفية لتنظيف الملوثات الملتصقة بالأسطح البصرية. استخدم محلول صابون محايد أو منظف بصري.

محلول صابون بتركيز أو منظف بصري لتنظيف الملوثات القائمة على الزيت.

إجراءات التنظيف الموصى بها

تحذير!

يجب توخي الحذر عند استخدام الإيثانول والإيثانول الإيزوبروبيل والميثانول ؛ فهي قابلة للاشتعال وسامة. لا تعيد استخدام مناديل التنظيف ؛ يمكن أن تسبب إعادة استخدام الأوساخ الالتصاق وتلف البصريات.

قبل تنظيف البصريات ، أزل المجوهرات مثل الخواتم من الأصابع والمعصمين ، واغسل يديك بعناية لإزالة زيوت الجلد ، وارتداء القفازات.

عملية تنظيف التلوث

الغبار أو التلوث الدقيق

1. نفخ أي أجزاء فضفاضة صغيرة من الغبار أو التلوث بفوهة.

2. إذا كان الغبار لا يزال موجودًا ، قم بلف ورقتين من ورق المرآة حول مسحة خشبية أو طي ورقة من ورق المرآة بحيث يكون أوسع من الجزء المراد تنظيفه.

3. ضع قطرة من الإيثانول أو الميثانول على الورق.

4. امسح العدسة بها مرة واحدة في اتجاه واحد. إذا كانت هناك حاجة إلى مزيد من المسح ، استخدم مسحة خشبية جديدة وورق مرآة. ملاحظة لبصمات الأصابع وعلامات الزيت والماء: يجب تنظيف هذه الحالة من السطح على الفور. الأحماض على الجلد يمكن أن تتلف سطح العدسة.

5. نفخ أي غبار أو أوساخ سائبة صغيرة بفوهة رذاذ.

6. إذا كانت الأوساخ لا تزال موجودة ، لف ورقتين من ورق المرآة حول عصا خشبية أو طوى ورقة من ورق المرآة بحيث يكون أوسع من الجزء المراد تنظيفه.

7. ضع قطرة من محلول الصابون على الورق.

8. مسح العدسة مرة واحدة في اتجاه واحد. إذا كانت هناك حاجة إلى مزيد من المسح ، استخدم مسحة وورقة جديدة.

9. كرر الخطوات من 2 إلى 4 باستخدام الورق المبلل بالماء المقطر. من أجل مسح أي بقايا صابون.

10. قم بترطيب الورق بالميثانول أو الإيثانول وكرر الخطوات من 2 إلى 4.